プローブ清掃ユニット及びそれを備えたパネル検査装置並びにプローブ清掃方法

Probe cleaning unit, and panel inspection device and probe cleaning method having the same

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a probe cleaning unit that selects only a probe assembly having a probe requiring cleaning and efficiently cleans the probe by easy operation. <P>SOLUTION: This probe cleaning unit includes an arm section movably attached to a probe unit of a panel inspection device between positions corresponding to at least the probe assemblies, a body section attached to the arm section, a moving base supported by the body section linearly reciprocatably, a means for linearly reciprocating the moving base with respect to the body section, and a distance adjusting mechanism for adjusting the distance between the arm section and the moving base so that a first cleaning means attached to the moving base comes into contact with the tips of a plurality of probes of the probe assemblies when the moving base is linearly reciprocated with respect to the body section. <P>COPYRIGHT: (C)2011,JPO&INPIT
【課題】 清掃が必要なプローブを備えたプローブ組立体だけを選んで、簡単な操作で効率良くプローブのクリーニングを行うことができるプローブ清掃ユニットを提供することを課題とする。 【解決手段】 パネル検査装置のプローブユニットに対し、少なくとも前記プローブ組立体のそれぞれに対応する位置の間で移動可能に取り付けられるアーム部と;前記アーム部に取り付けられた本体部と;前記本体部に直線状に往復動可能に支持された移動ベースと;前記移動ベースを前記本体部に対して直線状に往復動させる手段と;前記移動ベースを前記本体部に対して直線状に往復動させたときに、前記移動ベースに取り付けられる第1清掃手段が前記プローブ組立体の複数のプローブの先端と接触するように、前記アーム部と前記移動ベースとの距離を調節する距離調節機構を備えているプローブ清掃ユニットを提供することによって解決する。 【選択図】 図2

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